Vantaxes:
Esta serie de bombas ten un bo rendemento en condicións ambientais severas (alta temperatura, po, etc.), un rendemento estable e cunha longa vida útil, así como un mantemento sinxelo e un funcionamento conveniente.
Aplicacións:
As principais aplicacións están na detección de fugas industriais, PVD, CVD, implantación de ións, fabricación de compoñentes electrónicos ao baleiro, vidro de baixo E, vidro ITO, revestimento óptico, células solares, soldadura por feixe de electróns, forno ao baleiro e outras industrias.
Especificacións:
Brida (En) | DN400 ISO-K | Gas ao longo de (sccm) | N2: 5500 |
Brida (Saída) KF | DN100 | El : 4000 | |
Velocidade de bombeo (L / s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
El : 2650 | Ar : 2100 | ||
H2: 1280 | Velocidade de rotación (rpm) | 13500 | |
Ar : 3200 | Tempo de execución (min) | ≤18 | |
Relación de compresión | N2: 108 | Tipo de refrixeración, estándar | Auga |
El : 103 | Consumo de auga de refrixeración (L / min) | ≥1 | |
H2: 102 | Temperatura da auga de refrixeración (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Conexión de enerxía: tensión (V CA) | DC24 / AC220 | |
Presión final (Pa) | 6 × 10-6 | Consumo máximo de enerxía (W) | ≤1100 |
Máx. Presión continua de baleiro frontal (Pa) | 100 | Modelo de controlador | FD-III |
Máx. Presión de baleiro frontal | N2: 300 | Peso (kg) | 130 |