Bomba magnéticamente levada, CXF-320 / 3001E, refrixeración por auga, ISO-F, a bordo
As bombas moleculares levitadas magnéticamente son as bombas cuxo eixe está soportado en virtude da forza magnética.
As bombas moleculares levitadas magnéticamente en serie son equipos de xeración de baleiro desenvolvidos por KYKY para cumprir os requisitos de aplicación en campos da fabricación moderna de semicondutores, fabricación de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.
Vantaxes:
1. Fricción cero durante o funcionamento e baixo consumo de enerxía
2. Fácil de adquirir baleiro alto e ultra alto moi limpo sen lubricación para bombas
3. Capaz de extraer gases corrosivos a longo prazo
4. Alta seguridade e longa vida útil debido á protección dos rodamentos con bolas cerámicas de precisión
5. función de xeración de enerxía en caso de apagado repentino
6. Libre de rozamentos
7. Libre de contaminación
8. Libre de mantemento
9. Vibración baixa
10. instalado en calquera orientación.
Aplicacións:
As bombas moleculares levitadas magnéticamente en serie aplícanse principalmente a campos de fabricación de semicondutores, fabricación de clips, revestimentos industriais e instrumentos científicos, especialmente á extracción de gases corrosivos existentes no implante de gravado, CVD, PVD e ións e gases facilmente coagulables a temperatura normal.
Especificacións:
| Modelo | CXF-320 / 3001E |
| Velocidade da bomba (l / s, aire) | 3200 |
| Relación de compresión | > 1 × 108 |
| Baleiro final (Pa) | ≤5 × 10-7 |
| Brida de entrada | ISO-F 320 |
| Brida de saída | KF 40 |
| Velocidade de rotación (rpm) | 24000 |
| Tempo de execución (min) | 12 |
| VIB (mm) | <0,05 |
| Bomba de respaldo (L / s) | 15 |
| Montaxe ou instalación | Calquera |
| Método de arrefriamento | Auga |
| Peso (kg) (con controlador) | 75 |
Tecnoloxías:
- Tecnoloxía de control para rodamentos magnéticos: un levitado magnéticamente de 5 eixes, baseado na avanzada teoría do control internacional, para garantir vantaxes tan significativas do eixo de alta velocidade como un funcionamento estable e levitado fiable.
- Tecnoloxía de control do motor: Motor de alta eficiencia de alta velocidade e sistema de control de servo, con enerxía máxima do motor e para compensar automaticamente a velocidade de rotación do eixe, realizando así un arranque estable, un funcionamento fiable e unha función de regulación automática da enerxía dinámica.
- Tecnoloxía de rotor composto de fibra de carbono: Feito por composto de aliaxe de aluminio de alta resistencia e fibra de carbono lixeira. caracterizado por unha gran redución de peso e unha gran mellora da forza, de xeito que se conseguen obxectivos de alta velocidade de xiro, alto rendemento e alta fiabilidade.
- Tecnoloxía resistente á corrosión: As superficies de pezas en cámaras son tratadas cun proceso especial, de xeito que as superficies poden resistir a corrosión causada por gases corrosivos nos procesos de fabricación de semicondutores durante moito tempo. Ademais, os gases inertes como o N2 énchense completamente no eixe das bombas para protexer as pezas de baixo baleiro das bombas, de xeito que se realiza a función de esgotar de forma estable gases corrosivos durante longos períodos.
- Sistema de control de temperatura de calefacción: equipado cun quentador eléctrico e un controlador de temperatura, a auga de refrixeración, a calefacción aire-ósea, a calefacción eléctrica e a calor transportada por gases protectores pódense controlar e controlar durante o funcionamento, a temperatura nas bombas pode manterse nalgún valor a longo prazo, algúns gasosos as substancias non se converten en substancias sólidas a temperatura normal e non se depositan nas bombas e pódense cumprir os requisitos para un proceso especial como a gravación.