Bomba levitada magnéticamente, CXF-200 / 1401E, refrixeración por auga, a bordo

As bombas moleculares levitadas magnéticamente son as bombas cuxo eixe está soportado en virtude da forza magnética.
As bombas moleculares levitadas magnéticamente en serie son equipos de xeración de baleiro desenvolvidos por KYKY para cumprir os requisitos de aplicación en campos da fabricación moderna de semicondutores, fabricación de chips, revestimento industrial e instrumentos científicos.

Tecnoloxías:

• Tecnoloxía de control para rodamentos magnéticos: O electromagnético adoptado é un levitado magnéticamente de 5 eixes. Este deseño pode ter resposta dinámica e axuste oportuno mediante tecnoloxía de control de suspensión magnética activa de circuíto pechado dinámico baseada na avanzada teoría de control internacional, para garantir vantaxes tan significativas do eixo de alta velocidade como un funcionamento estable e levitado.
• Tecnoloxía de control do motor: O motor de alta velocidade de alta velocidade e o sistema de control de servo aplícanse ás bombas levitadas magnéticamente en serie, para ter a máxima enerxía do motor e compensar a velocidade de xiro do eixe automaticamente, realizando así un arranque estable, un funcionamento fiable e unha regulación automática. función da enerxía dinámica.
• Tecnoloxía de rotor composto de fibra de carbono: Os rotores turbo das bombas moleculares de suspensión magnética en serie están fabricados mediante a composición de aliaxes de aluminio de alta resistencia e fibra de carbono lixeira. En comparación con todos os rotores de aliaxe de aluminio, os rotores turbo caracterízanse por unha gran redución de peso e unha gran mellora da resistencia, de xeito que se conseguen obxectivos de alta velocidade de rotación, alto rendemento e alta fiabilidade.
• Tecnoloxía resistente á corrosión: As superficies de pezas en cámaras de bombas moleculares de suspensión magnética en serie trátanse cun proceso especial, de xeito que as superficies poden resistir a corrosión causada por gases corrosivos nos procesos de fabricación de semicondutores durante moito tempo. Ademais, gases inertes como o N2 están completamente enchidos no eixe das bombas para protexer as pezas de baixo baleiro das bombas, de xeito que se realiza a función de esgotar de forma estable gases corrosivos durante longos períodos.
• Sistema de control de temperatura de calefacción: As bombas moleculares levitadas magnéticamente da serie están equipadas cun quentador eléctrico e un controlador de temperatura, de xeito que a auga de refrixeración, a calefacción aire-ósea, a calefacción eléctrica e a calor transportada polos gases de protección poden controlarse e controlarse durante o funcionamento, a temperatura nas bombas pode manterse a algún valor a longo prazo, algunhas substancias gaseosas non se converten en substancias sólidas a temperatura normal e non se depositan nas bombas e pódense cumprir os requisitos para un proceso especial como a gravación.

As vantaxes:

1. Fricción cero durante o funcionamento e baixo consumo de enerxía

2. Fácil de adquirir baleiro alto e ultra alto moi limpo sen lubricación para bombas

3. Capaz de extraer gases corrosivos a longo prazo

4. Alta seguridade e longa vida útil debido á protección dos rodamentos con bolas cerámicas de precisión

5. función de xeración de enerxía en caso de apagado repentino

Especificacións:

Aplicacións:

As bombas moleculares levitadas magnéticamente en serie aplícanse principalmente a campos de fabricación de semicondutores, fabricación de clips, revestimentos industriais e instrumentos científicos, especialmente á extracción de gases corrosivos existentes no implante de gravado, CVD, PVD e ións e gases facilmente coagulables a temperatura normal.